探头故障现象、原因及排除方法

1、沉积期间厚度读数大跳变

a. 不良晶片产生   解决方案：更换晶片

b. 晶片接近其使用寿命  解决方案：更换晶片

c. 晶片支承座表面有杂物   解决方案：用酒精或细砂皮清洗支承座

d. 来自溅射源的频率干涉   解决方案： 检查接地，仪器远离溅射源

2、沉积期间晶体停振，但晶片寿命未到

a. 晶片被来自镀膜源熔化材料小熔滴撞击   解决方案：镀膜起始阶段用档板遮蔽后移开

b. 不良晶片   解决方案： 更换晶片

c. 晶片支承座内腔表面有杂质   解决方案：清洗

3、晶体在真空中振荡，单暴露空气后停振

a.晶体接近使用寿命，暴露空气导致薄膜氧化而引起薄膜压力增加   解决方案： 更换晶片

b. 晶片积累了过多水分   解决方案：暴露空气之前关掉探头冷却水